氏名 : 杉浦 順哉 (281667107)
所属 : 計算固体力学グループ
題目 : 微細パターン構造に生じる面外うねり座屈の比較解析
概要 :
半導体の微細化は、集積度向上・高速化・省電力化・低価格化に直結するため、非常に重要である。しかし、微細化が進んだことで、作製時のドライエッチング過程で波状の大きな変形を伴ううねり座屈が発生することが報告されています。先行研究では、半導体微細パターン材に生じるうねり座屈を対象に、連続体表記による2層モデルが定式化され、座屈荷重と波長の関係にある座屈点の予測手法が構築された。しかし、この数理モデルでは、板理論を用いて解を導出する際に、薄板近似と一様に作用する真性応力という2つの仮定を用いている。本研究では、この2つの仮定が非常に薄いマスク層を持つ微細パターン構造に対しては必ずしも成り立たず、高精度な解が得られないことをFEMの解析結果から指摘す
る。
目次に戻る